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BMT700研究型硅片顯微鏡

更新時間:2016-04-21瀏覽:3987次

一、用途:
    BMT700研究型硅片顯微鏡是適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時配有偏光裝置,及其高像素的數碼攝像頭. 本儀器配有無限物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析.雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象,使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產過程中*的檢測儀器之一.

二、BMT700研究型硅片顯微鏡技術參數:
1、目鏡

類  別

放大倍數

視場(mm)

大視野目鏡

10X

φ22

2、物鏡

類 型

放大倍數

數值孔徑NA

工作距離(mm) 

無限遠長工作距離平場消色差物鏡

5X

0.12

26.1

10X

0.25

20.2

40X

0.60

3.98

60X

0.70

3.18

3、光學放大倍數:50X -- 600X  系統參考放大倍數:50X-3500X
4、濾色片組:黃色、藍色、綠色、磨砂玻璃
5、偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內置檢偏振片
6、載物臺:二層機械移動式:尺寸:210mmX140mm,移動范圍:75mmX50mm
7、粗微同軸調焦機構,微動手輪格值:0.002mm
8、落射照明器:鹵素燈,亮度可調;透射光源6V30W鹵素燈,加裝散熱片。
9、防霉:*的防霉系統

三、BMT700研究型硅片顯微鏡適用于對太陽能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時配有偏光裝置,及其高像素的數碼攝像頭. 本儀器配有無限物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。

四、總放大參考倍數:

  50--4000倍 (17寸顯示器為例)

五、系統組成:

1、顯微鏡

2、適配鏡

3、500萬高像素攝像頭

4、計算機(選配)

六、選購件:

1、二維測量軟件

2、目鏡: 20X 10X(帶刻度)

 

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